OnToolTM Booster
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Der neue OnTool Booster setzt mit Leistungsstärke und einer kompakten Bauweise neue Zeichen in der Vakuumtechnik für alle sauberen Anwendungen. Er zeichnet sich durch ein, im Vergleich zur Baugröße, extrem hohes Saugvermögen von 130 m3/h und einem Enddruck von <1·10-5 mbar aus.
Anwendungen
- Transferkammern
- Schleusen
- EUV-Lithographie
- Solarzellenbeschichtung
- Optische Beschichtung
- Oberflächenveredelung
- Simulationskammern
Kundennutzen
- Hochvakuum direkt gegen Atmosphäre
- Modernes, handliches Design
- Extrem hohes Saugvermögen von 130 m3/h, im Vergleich zur Baugröße
- Läuft ohne Vorpumpe
- Für alle sauberen Anwendungen
- Als Einzelpumpe oder Vorpumpe einsetzbar
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